现阶段,针对封装和组装流程选用的品质检测方式一般主要包括人力目检、飞针测试、针床测试、全自动光学测试AOI和功能测试等等。但随着封装技术的不断进步,肉眼可见的体积越来越小,传统的检测方式早已不能满足各种先进封装器件的测试要求。
以半导体芯片封装为例,CSP的种类日益繁多,有柔性封装、刚性基板、引线框架、栅阵引线型及细微模塑型CSP等等。不一样的CSP构造其技木工艺也各有不同,但其基本都是根据倒装焊(FCB)和球栅阵列(BGA)二项技木。
第一,倒装焊技木主要有焊球凸点法、热压焊法和导电胶粘接法三种电气连接方式,不管哪一种方式,凸点的连接在封装流程里都不是肉眼能看得见的。
再者,在封装流程中,焊盘长时间曝露在空气中非常容易造成氧化,进而全部的连接点都很有可能存在包括连接焊点裂缝、没有连接上、过多焊点空洞、导线和导线压焊缺陷及裸片和连接界面缺陷等等问题。
此外,焊盘硅片在封装流程中还会因压力造成细微裂纹,导电胶连接的胶体还可能会在封装流程中造成气泡。这类问题都会对集成电路的封装品质造成不良影响。
而通常这类表层不看得见缺陷都不能用AOI技术来分辨,并且传统意义的电气功能性测试既要求对所测试目标的功能有很清晰的认识,也要求测试技术人员具备很高的专业技能,再者电气功能测试设备复杂,测试成本高,测试的成效还取决于测试工作人员技术实力,这就给集成电路的封装测试带来了新的困难。
因此,为了能高效地解决2D和3D封装等流程出现的内部缺陷检测难题,出现了将x-ray无损检测技术应用于半导体封测流程,与前述的几种测试方法对比具备更多的优势,它为给予了提升“一次通过率”和取得“零缺陷”的总体目标更高效的检查方式。
x-ray无损检测技术利用不同材料对x-ray的吸收差别,对产品内部构造实现显像,达到内部缺陷检测目的,在工业探伤、医学检查和公共安全等行业取得广泛运用。
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